型号
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PSD2
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PSD4-STD(标准)
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PSD4-HFV(高流量)
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PSD4-HPO(高压输出)
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性能
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出气量
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流量
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7 Nl/min (14.8 scfh)
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30 Nl/min (63.6 scfh)
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90 Nl/min (109.7 scfh)
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30 Nl/min (63.6 scfh)
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压力
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0.5 barg (7 psig)
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用户最高可设置为8 barg(116 psig)
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湿度
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<1ppmv
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<13.8ppbv
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供气要求
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供气
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流量
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10 Nl/min (21.2 scfh)
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30 Nl/min (63.6 scfh)
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90 Nl/min (109.7 scfh)
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30 Nl/min (63.6 scfh)
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压力
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5 ~ 7 barg (70 ~ 100 psig)
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6 ~ 10 barg (87 ~ 145 psig)
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湿度
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不含油和液态水
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<16ppmv
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电气参数
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电源
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100 ~ 115 或 220 ~ 240 VAC, 50/60Hz
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100 ~ 240VAC 50/60Hz
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电源连接
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IEC 插座
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环境条件
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工作温度
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+5 ~ +35°C (+41 ~ +95°F)
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+10 ~ +40°C (+50 ~ +104°F)
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储存温度
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-40 ~ +35°C (-40 ~ +95°F)
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-40 ~ +50°C (-40 ~ +122°F)
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机械参数
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类型
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两个干燥柱,变压切换
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干燥剂
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4 A分子筛干燥剂(4-8目)
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所需的量(近似值)
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2 Kg
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3.5 Kg
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计时器
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机械凸轮
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可编程继电器
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气体连接
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入口
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Swagelog ® ¼"
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¼" VCR Swagelok®
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出口
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Swagelog ® ¼"
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¼" VCR Swagelok®
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½" VCR Swagelok®
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¼" VCR Swagelok®
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过滤器
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出口
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无
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Millipore Wafergard IIF Micro Inline(密封型)PTFE圆片过滤膜,对0.003pm颗粒的过滤效果>99.999%
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排气口
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无
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粘结玻璃微纤维,对0.1μm颗粒的过滤效果>99.999%
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结构
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机架安装:19” x 6U x 324mm (12.8”)
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304不锈钢壁挂式外壳:800x600x300mm (31.5x24x12”)
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重量
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12.5kg (27.5lbs)
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30Kg (66lb)
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35Kg (77lb)
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32Kg (70lb)
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